Краткий обзор установки вакуумного термического напыления (IRV-E001-003)
Назначение и принципы работы
Установка вакуумного термического напыления предназначена для нанесения тонких пленочных покрытий на различные материалы методом испарения вещества в вакууме. Основная идея заключается в нагреве материала-мишени до его испарения и последующем осаждении паров на подложке.
Данным методом можно получать тонкие пленки из Cr, Cu, Au, In и других металлов, а также оптические покрытия из оксидов кремния и других материалов.
Эта установка представляет собой компактный вакуумный пост с термическим испарением с точным и программируемым контролем температуры, который подходит для нанесения покрытий на большинство металлических и органических материалов пленкой размером до 2 дюймов в диапазоне температур от 200 ℃ до 1500 ℃ (или от 200 ℃ до 1700 ℃ с дополнительной термопарой типа B). Встроенный вращающийся держатель образца обеспечивает равномерное покрытие пленкой.
Особенности установки
- Вольфрамовый нагреватель с термопарой встроен в дно тигля из оксида алюминия для контроля температуры Стандартная термопара типа S: - нагрев от 200ºC до 1500ºC.
- Дополнительная термопара типа B - нагрев от 1200ºC до 1700ºC.
- Заслонка образцов с ручным приводом.
- Один цифровой регулятор температуры с 30-сегментным программированием и точностью +/- 1ºC.
- Температуру также можно переключить в ручной режим без термопары и тепловой установки для более быстрого нанесения покрытия до 2000ºC, например, углеродного покрытия.
- В комплект входят два нагревателя с вольфрамовой спиралью.
- Один вращающийся столик для образца диаметром 50 мм установлен в верхней части камеры для нанесения покрытия.
- Расстояние между держателем образца и источником испарения регулируется от 60 мм до 100 мм.
- Встроенный порт впуска газа 1/4 NPS для очистки инертным газом. Игольчатый для управления расходом газа.
Основные компоненты
- Вакуумная камера выполнена из кварца – обеспечивает низкое давление, предотвращающее окисление и улучшает чистоту покрытия.
- Испаритель – нагревает материал (термический испаритель, тигель из тугоплавкого керамического материала или тугоплавкого металла например вольфрамовая нить или танталовая «лодочка»).
- Подложкодержатель – фиксирует обрабатываемые детали и может быть нагреваемым или вращающимся для равномерности нанесения покрытия.
- Система вакуумных насосов – поддерживает требуемый уровень вакуума (механические, турбомолекулярные в зависимости от комплектации).
- Система управления – контролирует процессы нагрева, напыления и вакуумирования (сенсорный дисплей и полностью автоматизированные процессы вакуумирования и нагрева).
Рис. Сенсорный дисплей для управления установкой
Опции
- Запасной испаритель доступен по запросу.
- Система измерения толщины пленки (кварцевый резонатор).
- Турбомолекулярный насос для глубокого вакуума и быстрого вакуумирования.
Рис. Кварцевый резонатор, устанавливаемый в вакуумную камеру с блоком управления.
Технологических процесс состоит из следующих стадий:
- Размещение подложек и материала-мишени в камере.
- Откачка воздуха до высокого вакуума (~10⁻⁶ мбар).
- Нагрев испарителя (тигля) до испарения с последующим осаждением атомов/молекул на поверхности подложки.
- Контроль толщины и равномерности покрытия с помощью датчиков.
- Завершение процесса, охлаждение и напуск атмосферы в камеру.
Применение
- Производство оптических покрытий (линзы, зеркала).
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
- Создание декоративных и защитных пленок.
- Производство солнечных батарей.
Преимущества
- Высокая чистота и однородность покрытия.
- Возможность работы с широким спектром материалов.
- Точная регулировка параметров напыления и температуры испарителя.
Условия и способы оплаты
Мы предоставляем гибкие условия расчетов, учитывающие специфику
каждой сделки, чтобы обеспечить удобство и надежность
сотрудничества.
Оплата осуществляется безналичным банковским переводом на
основании выставленного счета.
При наличии оборудования на складе
Если требуется монтаж оборудования
100% — предоплата при заключении
договора.
Если монтаж оборудования не требуется
90% — предоплата при заключении
договора.
10% — по факту готовности
оборудования к отгрузке со склада в Москве.
Примечание: Возможны индивидуальные условия оплаты. Мы всегда открыты для обсуждения!
При поставке оборудования под заказ
Если требуется монтаж оборудования
50% — предоплата при заключении
договора,
что гарантирует бронирование производства под ваш заказ.
40% — по факту готовности
оборудования к отгрузке со склада в Москве.
10% — после успешного ввода оборудования
в эксплуатацию на вашем производстве.
Если монтаж оборудования не требуется
50% — предоплата при заключении
договора,
что гарантирует бронирование производства под ваш заказ.
50% — по факту готовности
оборудования к отгрузке со склада в Москве.
Примечание: Возможны индивидуальные условия оплаты в зависимости от типа оборудования и сроков поставки. Мы всегда открыты для обсуждения!
Помощь в получении субсидии
Детали по телефону.
Почему выбирают нас?
- Индивидуальный подход. Мы разрабатываем уникальные условия для каждого клиента, учитывая специфику бизнеса.
- Прозрачность. Вы всегда будете знать, на каком этапе находятся изготовление и поставка оборудования.
- Экспертная поддержка. Наши специалисты готовы ответить на любые вопросы, связанные с условиями оплаты, лизинга или субсидии, а также подсказать, как получить максимальную выгоду от сделки.
- Комплексное сопровождение. Мы берем на себя все задачи по оформлению и согласованию документации, чтобы вы могли сосредоточиться на развитии вашего бизнеса.
Готовы сделать первый шаг?
Мы стремимся сделать процесс получения оборудования максимально удобным и доступным для вас. Вы можете выбрать наиболее подходящий способ доставки из предложенных вариантов.
1. Самовывоз с нашего склада
Самовывоз — это быстрый и экономичный способ для тех, кто предпочитает самостоятельно организовывать доставку.
Вы можете самостоятельно забрать оборудование с нашего склада
по
адресу: г. Москва, ул. Южнопортовая, д. 21, стр.
8.
Наш склад удобно расположен, что облегчает планирование логистики.
2. Доставка нашим автотранспортом
Этот вариант удобен для клиентов, которым важно минимизировать затраты времени и получить оборудование «до дверей».
Мы предлагаем доставку до вашего адреса собственным автотранспортом.
Преимущества:
- Полный контроль за сохранностью груза и точные сроки доставки.
- Подходит для любых категорий оборудования, включая крупногабаритные и тяжелые станки.
- Наши специалисты обеспечат аккуратную погрузку и доставку.
3. Доставка через транспортные компании
Доставка через транспортные компании — это надежный и экономичный способ получения оборудования для клиентов из других регионов.
Мы сотрудничаем с надежными транспортными компаниями, чтобы доставить ваше оборудование в любой регион.
Особенные условия:
Бесплатная доставка до терминала ТК «Деловые
Линии» в Москве.
Вы оплачиваете только межтерминальную доставку
до вашего
города, что позволяет сократить расходы.
Преимущества:
Возможность выбора любой удобной транспортной компании.
Мы подготовим груз к транспортировке, включая
упаковку и оформление всех сопроводительных документов.
Почему выбирают нас?
- Гибкость. Несколько вариантов доставки позволяют выбрать удобный способ в зависимости от ваших потребностей.
- Прозрачность. Мы заранее обсуждаем все условия по доставке и фиксируем их в договоре.
- Надежность. Весь процесс отгрузки и доставки организован профессионально, с заботой о сохранности вашего оборудования.