Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
500
2 237 882 руб.
/шт 
Подогрев подложки до, ℃
—
1500
3 262 252 руб.
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
75
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
750
10 050 697 руб.
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
80
Количество магнетронов, шт
—
1
Подогрев подложки до, ℃
—
500
23 033 088 руб.
/шт 
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50/25
Количество магнетронов, шт
—
2
Подогрев подложки до, ℃
—
600
Цена по запросу
Диаметр мишени магнетрона, мм
—
50
Количество магнетронов, шт
—
3
Подогрев подложки до, ℃
—
600
Цена по запросу