Краткий обзор установки вакуумного термического напыления
Трехмагнетронная комбинированная установка напыления (2DC/1RF) + 2 термических испарителя (IRV-E001-022)
Назначение и принципы работы
Вакуумная установка предназначена для нанесения металлических и диэлектрических покрытий методом магнетронного распыления в вакууме с возможностью предварительного нагрева обрабатываемых подложек до 300 °С. Также дополнительно укомплектована двумя молибденовыми термическими испарителями типа «лодочка» с резистивным нагревом. Для распыления металлических мишеней используется магнетрон постоянного тока DC. Принцип работы заключается в распылении материала мишени ускоренными ионами инертного газа и последующем осаждении его на подложке (образце). При смешении плазмообразующего газа с реактивным возможно получение пленок диэлектриков (оксиды, нитриды). Диэлектрические мишени могут распыляться при помощи RF магнетрона. Многослойные покрытия на образцах можно получать при последовательном использовании магнетронов с различными материалами мишеней и термические испарители. Чистота покрытий обеспечивается наличием заслонок на магнетронах и термических испарителях.
На этой установке можно получать тонкие пленки из Cr, Cu, Au, In и других металлов, а также оптические и упрочняющие покрытия из оксидов нитридов и других материалов.
Установка представляет собой компактный вакуумный пост с тремя магнетронами с точным и программируемым контролем температуры, который подходит для нанесения покрытий на большинство металлических и органических материалов на площадь подложкодержателя диаметром 100 мм. Встроенный вращающийся держатель образца обеспечивает равномерность покрытия по толщине.
Особенности установки
- Диаметр мишени магнетрона, мм: 50.
- Угол регулировки наклона магнетронов ±45˚.
- Дверь на передней части камеры.
- Заслонка магнетронов с ручным приводом (электрический привод опционально).
- Цифровой регулятор температуры подогрева подложки, точностью +/- 1ºC.
- Один вращающийся столик для образца диаметром 100 мм установлен в верхней части камеры.
- Расстояние между держателем образца и источником испарения изменяется при помощи электрического привода.
- Двухканальный автоматический регулятор массового расхода газа на два канала в базовой комплектации с точностью 1%. Пределы регулировки
- Ar 0-200 см3/с
- O2 0 – 20 см3/с
- Сенсорный дисплей 10,5” для удобства управления установкой.
- Пневматические вакуумные клапаны управляемые автоматически.
- Чиллер системы охлаждения входит в комплект.
- Компрессор для пневмосистемы входит в комплект.
- Кварцевый водоохлаждаемый резонаторный датчик измерения толщины покрытия с системой измерения и точностью 0,1 А в базовой комплектации -2 шт.
- Источник питания DC магнетронов 300 Вт (600В, 1А).
- Источник питания термического испарителя 100 Вт (300 А, 1800 С˚).
- Источник питания RF магнетрона 300 Вт (автоматическая подстройка согласования, 13,56 МГц).
- Турбомолекулярный насос для глубокого вакуума и быстрого вакуумирования (производства Япония) – в базовой комплектации.
- Два источника питания магнетронов 2 х 1000 Вт – в базовой комплектации.
Опции
- Мишени для магнетрона из любых материалов доступны по запросу.
- Установка третьего магнетрона и источника питания для распыления диэлектрических мишеней – опционально.
- Электрический привод подъема столика для образцов - опционально.
Рис. Дополнительный источник для очистки в плазме тлеющего разряда. На фото запечатлен процесс очистки
Рис. Кварцевый резонатор, устанавливаемый в вакуумную камеру с блоком управления
Рис. Автоматический регулятор массового расхода газа (РРГ)
Рис. Мишени для магнетрона из металлов и диэлектриков высокой чистоты – опционально
Рис. Вакуумные сильфонные соединения из нержавеющей стали
Рис. Пневматические вакуумные клапаны – автоматическое управление
Рис. Турбомолекулярный насос, компрессор, форвакуумный насос, высоковакуумный шиберный затвор, чиллер в комплекте
Рис. Внутренняя конструкция вакуумной камеры
Рис. Внешний вид сенсорной панели управления
Рис. Возможность установить четвертый магнетрон в установке в камере – опционально
Технологических процесс состоит из следующих стадий:
- Размещение подложек и материала-мишени в камере.
- Откачка воздуха до высокого вакуума (~10⁻⁶ мбар).
- Распыление мишени магнетроном с последующим осаждением атомов/молекул на поверхности подложки.
- Контроль толщины и равномерности покрытия с помощью датчиков.
- Завершение процесса, охлаждение и напуск атмосферы в камеру.
Применение
- Производство оптических покрытий (линзы, зеркала).
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
- Создание декоративных и защитных пленок.
- Создание упрочняющих покрытий.
Преимущества
- Высокая чистота и однородность покрытия.
- Возможность работы с широким спектром материалов.
- Точная регулировка параметров напыления и температуры подогрева образцов.
Условия и способы оплаты
Мы предоставляем гибкие условия расчетов, учитывающие специфику каждой сделки, чтобы обеспечить удобство и надежность сотрудничества.
Оплата осуществляется безналичным банковским переводом на основании выставленного счета.
При наличии оборудования на складе
Если требуется монтаж оборудования
100% — предоплата при заключении договора.
Если монтаж оборудования не требуется
90% — предоплата при заключении договора.
10% — по факту готовности оборудования к отгрузке со склада в Москве.
Примечание: Возможны индивидуальные условия оплаты. Мы всегда открыты для обсуждения!
При поставке оборудования под заказ
Если требуется монтаж оборудования
50% — предоплата при заключении договора, что гарантирует бронирование производства под ваш заказ.
40% — по факту готовности оборудования к отгрузке со склада в Москве.
10% — после успешного ввода оборудования в эксплуатацию на вашем производстве.
Если монтаж оборудования не требуется
50% — предоплата при заключении договора, что гарантирует бронирование производства под ваш заказ.
50% — по факту готовности оборудования к отгрузке со склада в Москве.
Примечание: Возможны индивидуальные условия оплаты в зависимости от типа оборудования и сроков поставки. Мы всегда открыты для обсуждения!
Помощь в получении субсидии
Детали по телефону.
Почему выбирают нас?
- Индивидуальный подход. Мы разрабатываем уникальные условия для каждого клиента, учитывая специфику бизнеса.
- Прозрачность. Вы всегда будете знать, на каком этапе находятся изготовление и поставка оборудования.
- Экспертная поддержка. Наши специалисты готовы ответить на любые вопросы, связанные с условиями оплаты, лизинга или субсидии, а также подсказать, как получить максимальную выгоду от сделки.
- Комплексное сопровождение. Мы берем на себя все задачи по оформлению и согласованию документации, чтобы вы могли сосредоточиться на развитии вашего бизнеса.
Готовы сделать первый шаг?
Мы стремимся сделать процесс получения оборудования максимально удобным и доступным для вас. Вы можете выбрать наиболее подходящий способ доставки из предложенных вариантов.
1. Самовывоз с нашего склада
Самовывоз — это быстрый и экономичный способ для тех, кто предпочитает самостоятельно организовывать доставку.
Вы можете самостоятельно забрать оборудование с нашего склада по адресу: г. Москва, ул. Южнопортовая, д. 21, стр. 8.
Наш склад удобно расположен, что облегчает планирование логистики.
2. Доставка нашим автотранспортом
Этот вариант удобен для клиентов, которым важно минимизировать затраты времени и получить оборудование «до дверей».
Мы предлагаем доставку до вашего адреса собственным автотранспортом.
Преимущества:
- Полный контроль за сохранностью груза и точные сроки доставки.
- Подходит для любых категорий оборудования, включая крупногабаритные и тяжелые станки.
- Наши специалисты обеспечат аккуратную погрузку и доставку.
3. Доставка через транспортные компании
Доставка через транспортные компании — это надежный и экономичный способ получения оборудования для клиентов из других регионов.
Мы сотрудничаем с надежными транспортными компаниями, чтобы доставить ваше оборудование в любой регион.
Особенные условия:
Бесплатная доставка до терминала ТК «Деловые Линии» в Москве.
Вы оплачиваете только межтерминальную доставку до вашего города, что позволяет сократить расходы.
Преимущества:
Возможность выбора любой удобной транспортной компании.
Мы подготовим груз к транспортировке, включая упаковку и оформление всех сопроводительных документов.
Почему выбирают нас?
- Гибкость. Несколько вариантов доставки позволяют выбрать удобный способ в зависимости от ваших потребностей.
- Прозрачность. Мы заранее обсуждаем все условия по доставке и фиксируем их в договоре.
- Надежность. Весь процесс отгрузки и доставки организован профессионально, с заботой о сохранности вашего оборудования.
9,2% — эффективная процентная ставка по лизингу с учетом дохода от депозита*
Почему это выгодно?
Легкий старт
10% аванса без сложных процедур одобрения
Без залогов
Оборудование само становится залогом
1,5% переплаты в месяц
Окупается за счет дохода от приобретённого оборудования
Снижение налогов
Экономия до 40% на НДС и налоге на прибыль
Выкуп оборудования
По истечении срока по остаточной стоимости
Свяжитесь с нами
Мы расскажем обо всех выгодах лизинга от ИРС
