Установка вакуумного напыления HCMS+CA-650
Оснащена:
- Несбалансированными источниками магнетронного распыления с заслонкой мишени – 2 шт
- Блоками вакуумно-дугового напыления (блок включает 3 мишени) – 2 шт
- Высоковольтным источником питания для потенциала смещения с функцией очистки и травления в плазме тлеющего разряда – 1 шт
Установка предназначена для нанесения металлических пленок и функциональных покрытий из карбида азота. Установка имеет модульную конструкцию, что обеспечивает возможность для последующей модернизации и трансформации с учетом гибкости и практичности. Процесс нанесения покрытия полностью автоматизирован, что обеспечивает высокое качество, прекрасную адгезию пленок.
Рис. 1 общий вид установки*
* Окончательный вид зависит от ТЗ заказчика и может отличаться от приведенного
Конструктивные особенности установки вакуумного напыления
Рис. 2 Расположение дуговых и магнетронных испарителей диаметральное, для равномерного нанесения покрытия
Рис. 3 Размеры внутренней части вакуумной камеры
Рис. 4 Общие габариты и компоновка оборудования
Основные технические характеристики оборудования*
*- могут быть изменены по требованию заказчика
| Наименование | Ед. изм. | Значение |
| Диаметр вакуумной камеры | мм | 1000 |
| Высота вакуумной камеры | мм | 1200 |
| Эффективная площадь покрытия не менее Диаметр х Высота | мм х мм | 650х700 |
| Окно для наблюдения технологического процесса | шт | 2 |
| Материал вакуумной камеры | марка | Нерж сталь 304 |
| Тип охлаждения вакуумной камеры | тип | Водяное ленточное охлаждение |
| Толщина стенок вакуумной камеры | мм | 14 |
| Предельный вакуум в холодной вакуумной камере | Па | 5,0E - 4 |
| Предварительный вакуум в вакуумной камере | Па | 3.0E - 3 |
| Время вакуумирования холодной чистой камеры до 3 × 10-3 Па, не более | мин | 30 |
| Магнетрон несбалансированный прямоугольной формы с источникам питания | компл | 2 |
| Блок дугового распыления | шт. | 2 |
| Опция предварительной ионной очистки образцов | наличие | да |
| Предварительный нагрев образцов в камере до | С | 500 |
| Скорость вращение образцов | Об/мин | 0 - 6 |
| Количество каналов в системе подачи рабочего газа, не менее | шт. | 4 |
| Мощность источника питания магнетрона | кВт | 40 |
| Мишень для дугового испарения 250 А | шт. | 6 |
| Мощность источника очистки в плазме тлеющего разряда (напряжение смещения) | кВт | 20 |
| Источник ионов для ионного травления, ионного азотирования, очистки, нагрева | наличие | да |
Тип движения рамки с держателями образцов - вращение по окружности + вращение вокруг оси;
Метод нанесения покрытия:
Магнетронное распыление (HIPIMS) + плазменно-дуговое распыление + очистка в плазме тлеющего разряда
Требования для установки оборудования
| Наименование | Ед. изм. | Значение |
| Напряжение питания | В | 380 |
| Частота питающей сети | Гц | 50 |
| Потребляемый установкой ток, не более | А | 500 |
| Сопротивление заземляющей шины не более | Ом | 3 |
| Температура охлаждающей воды градусов | С | 20-28 |
| Давление воды на входе в установку, не более | бар | 3 |
| Давление сжатого воздуха на входе в установку Мин. - макс | МПа | 0,4 – 0,8 |
| Общая мощность оборудования, не менее | кВт | 105 |
| Система управления с визуализацией полностью автоматическая | Наличие | да |
| Чиллер для системы охлаждения с производительностью 15 л/с | Наличие | да |
Оборудование вакуумной системы:
| Элемент | Продукт | Описание | Бренд | Кол-во | Единица |
| 1 | Вакуумная система |
Турбомолекулярный насос Tgkine2204 DN250 |
Osaka | 2 | шт |
| Пластинчато-роторный форвакуумный насос 2X-70 | Nanguang | 2 | шт | ||
| Насос типа Рутс RTO-600 | Cuiman | 1 | шт | ||
| Пластинчато-роторный вспомогательный насос 2X-15 | Nanguang | 1 | шт | ||
| Вакуумные клапаны и аксессуары (сильфоны, трубы) из нерж стали 304 | HCVAC | 1 | комплект | ||
| Вакуумметр Zhenghua ZD54+ |
Chengdu Zhenghua |
1 | Комплект | ||
| Емкостный мембранный вакуумметр CDG045D (диапазон: от 13,3 Па до 3,0*10-3 Па) | Inficon | 1 | шт | ||
| 2 | Вакуумная камера |
В установке используется вертикальная вакуумная камера из нержавеющей стали, а дверь изготовлена из нержавеющей стали 304 толщиной 16 мм; Ввнутренняя стенка камеры отполирована; внешняя стенка обработана методом дробеструйной обработки; Внешняя стенка камеры и дверь водоохлаждаемые (ленточное охлаждение); 4. Камера оснащена 2 планарными магнетронами постоянного тока для распыления и 6 дуговыми мишенями (2 блока по 3 мишени) Механизм вращения образцов с магнитно-жидкостным уплотнением; |
1 | комплект | |
| Оснастка | Система вращения образцов предусматривает плавный пуск | наличие | да | ||
| Система подачи газа |
Массовый расходомер газа автоматический - N2 /1000 см3/мин Массовый расходомер газа автоматический - C2H2/ 500 см3/мин Массовый расходомер газа автоматический – Ar/ 1000 см3/мин Массовый расходомер газа автоматический - O2 /1000 см3/мин |
шт |
1 1 1 1 |
||
| Магнетроны | Плоская прямоугольная мишень с заслонкой | шт | 2 | ||
| Очистка в плазме тлеющего разряда | Источник Truplasma DC G2 4020，power 20KW | Huettinger, Germany | шт | 1 |
Краткая характеристика компонентов вакуумной системы
Форвакуумный насос 2 Х-70
Скорость откачки: 70 л/с
Мощность двигателя: 5,5 кВт
Количество: 2 комплект
Насос типа рутс RTO.600
Производительность: 600 л/с
Мощность двигателя: 5,5 кВт
Количество: 1 комплект
Турбомолекулярный насос TGkine2204MBWB-B
Скорость откачки: 2200 л/с
Мощность двигателя: 0,9 кВт
Количество: 2 комплекта
Вакуумметр ZD54+ZJ27
1 комплект
Массовый расходомер газа
Производитель: Sevenstar
Диапазон/Точность: 1000 куб. см/±1%
Количество: 4 комплекта
Дуговое распыление
Источник дугового испарения использует систему катодной дуги D95, которая имеет такие характеристики, как высокая скорость осаждения, малый размер частиц, однородная поверхность мишени и хороший эффект стабилизации дуги в высоком вакууме. Оснащен 6 комплектами дуговых мишеней диаметром 95 мм с высокой однородностью; Может стабильно работать при вакууме от 1*10-2 до 5 Па. 6 комплектов импульсных источников питания дуги с током до 250A; Каждый источник питания может управляться независимо.
Источник питания смещения
Truplasma DC G2 4020 Производитель: Höttinger, Германия Мощность: 20 кВт
Количество: 1
Оснастка поворотный стол и тележка
Оснащается по требованию заказчика
Грузоподъемность до 200 кг
ПЛК+сенсорный экран комбинированный с системой управления
- Автоматический процесс напыления
- Запись параметров в режиме реального времени
- Онлайн мониторинг и оповещения системы безопасности
- Возможность удаленного контроля по сети интернет
Автоматический интерфейс
Условия и способы оплаты
Мы предоставляем гибкие условия расчетов, учитывающие специфику каждой сделки, чтобы обеспечить удобство и надежность сотрудничества.
Оплата осуществляется безналичным банковским переводом на основании выставленного счета.
При наличии оборудования на складе
Если требуется монтаж оборудования
100% — предоплата при заключении договора.
Если монтаж оборудования не требуется
90% — предоплата при заключении договора.
10% — по факту готовности оборудования к отгрузке со склада в Москве.
Примечание: Возможны индивидуальные условия оплаты. Мы всегда открыты для обсуждения!
При поставке оборудования под заказ
Если требуется монтаж оборудования
50% — предоплата при заключении договора, что гарантирует бронирование производства под ваш заказ.
40% — по факту готовности оборудования к отгрузке со склада в Москве.
10% — после успешного ввода оборудования в эксплуатацию на вашем производстве.
Если монтаж оборудования не требуется
50% — предоплата при заключении договора, что гарантирует бронирование производства под ваш заказ.
50% — по факту готовности оборудования к отгрузке со склада в Москве.
Примечание: Возможны индивидуальные условия оплаты в зависимости от типа оборудования и сроков поставки. Мы всегда открыты для обсуждения!
Помощь в получении субсидии
Детали по телефону.
Почему выбирают нас?
- Индивидуальный подход. Мы разрабатываем уникальные условия для каждого клиента, учитывая специфику бизнеса.
- Прозрачность. Вы всегда будете знать, на каком этапе находятся изготовление и поставка оборудования.
- Экспертная поддержка. Наши специалисты готовы ответить на любые вопросы, связанные с условиями оплаты, лизинга или субсидии, а также подсказать, как получить максимальную выгоду от сделки.
- Комплексное сопровождение. Мы берем на себя все задачи по оформлению и согласованию документации, чтобы вы могли сосредоточиться на развитии вашего бизнеса.
Готовы сделать первый шаг?
Мы стремимся сделать процесс получения оборудования максимально удобным и доступным для вас. Вы можете выбрать наиболее подходящий способ доставки из предложенных вариантов.
1. Самовывоз с нашего склада
Самовывоз — это быстрый и экономичный способ для тех, кто предпочитает самостоятельно организовывать доставку.
Вы можете самостоятельно забрать оборудование с нашего склада по адресу: г. Москва, ул. Южнопортовая, д. 21, стр. 8.
Наш склад удобно расположен, что облегчает планирование логистики.
2. Доставка нашим автотранспортом
Этот вариант удобен для клиентов, которым важно минимизировать затраты времени и получить оборудование «до дверей».
Мы предлагаем доставку до вашего адреса собственным автотранспортом.
Преимущества:
- Полный контроль за сохранностью груза и точные сроки доставки.
- Подходит для любых категорий оборудования, включая крупногабаритные и тяжелые станки.
- Наши специалисты обеспечат аккуратную погрузку и доставку.
3. Доставка через транспортные компании
Доставка через транспортные компании — это надежный и экономичный способ получения оборудования для клиентов из других регионов.
Мы сотрудничаем с надежными транспортными компаниями, чтобы доставить ваше оборудование в любой регион.
Особенные условия:
Бесплатная доставка до терминала ТК «Деловые Линии» в Москве.
Вы оплачиваете только межтерминальную доставку до вашего города, что позволяет сократить расходы.
Преимущества:
Возможность выбора любой удобной транспортной компании.
Мы подготовим груз к транспортировке, включая упаковку и оформление всех сопроводительных документов.
Почему выбирают нас?
- Гибкость. Несколько вариантов доставки позволяют выбрать удобный способ в зависимости от ваших потребностей.
- Прозрачность. Мы заранее обсуждаем все условия по доставке и фиксируем их в договоре.
- Надежность. Весь процесс отгрузки и доставки организован профессионально, с заботой о сохранности вашего оборудования.
9,2% — эффективная процентная ставка по лизингу с учетом дохода от депозита*
Почему это выгодно?
Легкий старт
10% аванса без сложных процедур одобрения
Без залогов
Оборудование само становится залогом
1,5% переплаты в месяц
Окупается за счет дохода от приобретённого оборудования
Снижение налогов
Экономия до 40% на НДС и налоге на прибыль
Выкуп оборудования
По истечении срока по остаточной стоимости
Свяжитесь с нами
Мы расскажем обо всех выгодах лизинга от ИРС
